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Home  >  Photo Resist  >  ENPR K-series  


 ENPR (Epoxy Negative PhotoResist )

▶ 제품 설명


    - ENPR는 micromachining 및 microelectronic applications을 위해 설계되고 다양한 표면과의 접착력이 강화된 high contrast, epoxy 기반 negative Photoresist 입니다.


   ◎ High aspect ratio imaging with vertical side walls

   ◎ Near UV (350-400nm) processing

   ◎ Film thicknesses from 1.5 to 200µm with single spin coat
   ◎ Highly chemical and temperature resistance

   ◎ Improved Adhesion (Si, Glass, Sapphire, Metal)

▶ DATA SHEET

▶ MSDS


    - ENPR 은 점도별로 9가지 모델 (ENPR K0.5, K1, K2, K5, K10, K15, K35, K50, K75)이 있습니다.

ENPR
Series
Viscosity
(cP)
Thickness
(um)

Exposure Energy
(Broadband, mJ/㎠)
K0.52.60.47 - 0.88130 - 140
K14.10.88 - 1.7130 - 150
K28.21.7 - 3.5130 - 150
K5
534.7 - 9150 - 170
K104559 - 22170 - 190
K15150014 - 41
170 - 200
K35822026 - 107180 - 250
K501590044 - 156200 - 270
K752720067 - 228220 - 300

    - Process Flow

▶ ENPR(Epoxy Negative Photo Resist)로 전환해야 하는 3가지 이유


   ◎  SU8 특성과 동등


   ◎  낮은 가격으로 시장에서의 경쟁력


   ◎  국내 제조로 빠른 대응


 ENPR-DEV (ENPR Developer)

▶ 제품 설명


    - ENPR 현상액으로 SU-8 Developer를 대체 가능합니다

 

▶ MSDS



Tel. 02-944-6922 | Fax. 02-944-6923

Addr. 01811 서울 노원구 공릉로 232, 

          서울테크노파크 410호

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