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MEMS Foundry      |

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Pattern Glass

▶ 제품 설명


   - LCD 검사 장비인 Probe Station에서 2세대 MEMS Type인 Probe Unit안에 들어가는 부품으로 유리기판 위에 배선이 형성된 칩을 지칭합니다.

   ◎ Under 10um fine pattern

   ◎ Miniaturization

   ◎ Increase reliability
   ◎ Independent of temperature and humidity
   ◎ Substrate Size : 6", 6" Square, 8" 


▶ Fabrication Process of Pattern

Cleaning

Metal Sputterning

PR Coating

Patterning

Metal Etching

PR Strip

 ▶ Square Pattern Glass


    - 6인치 원형 Pattern Glass에 비해 Edge부분의 면적이 커져 더 많은 chip을 제작 할 수 있게 되었으며, 기존 원형 제품 대비 약 60% 정도 생산성이 증가,

      가격 경쟁력 면에서 우위를 선점 할 수 있는 제품입니다.



Tel. 02-944-6922 | Fax. 02-944-6923

Addr. 01811 서울 노원구 공릉로 232, 

          서울테크노파크 410호

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