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 SCR (Cresol based Positive PhotoResist )

▶ 제품 설명


    - SCR P-seires는 Cresol resin 기반의 Positive Photoresist 입니다.


   ◎ i-line & broad band (i, g, h line) processting

   ◎ Film thicknesses from 0.5 to 6µm with single spin coat

▶ DATA SHEET

▶ MSDS

SCR (Cresol based Positive Photoresist)

▶ 제품 설명


    - SCR P-series는 Cresol resin 기반의 Positive Photoresist 입니다


   ◎ i-line & broad band ( i, g, h line ) processing 

   ◎ Film thicknesses from 0.5 to 6µm with single spin coat


▶ DATA SHEET

▶ MSDS


    - SCR P-series 는 점도별로 2가지 모델 (SCR P08, P18)이 있습니다.

SCR
P-Series
Viscosity
(cP)
Thickness
(um)

Exposure Energy
(mJ/㎠)
P08140.8 - 1.530 - 60
1.5 - 2.560 - 80
P18461.8 - 2.570 - 80
2.5 - 3.4
80 - 90
3.4 - 4.6
90 - 100
4.6 - 6.0100 - 115

    - Spin Curve

    - Process Flow



Tel. 02-944-6922 | Fax. 02-944-6923

Addr. 01811 서울 노원구 공릉로 232, 

          서울테크노파크 410호

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