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Sputtering System

진공 증착기

▶ 제품 설명


   ◎ 모델명 : SRN-120


   ◎ 제조사 : SORONA


   ◎ 규격 : Wafer Size : Piece ~ 8Inch 

                  Target material : Al, AlSi(1.0, Cu(0.5),

                  AlCu(0.5), Cr, Ni, Au, 

                  Ti, TiN, TiO2, Pt, ITO, IZO, SiO2, Pd, Si, Al2O3


   ◎ 용도 : 고 진공의 플라즈마 환경에서 Target 표면에 

                  고 에너지 입자를 충돌시켜 입자가 튀어 나오게 

                  하여 기판에 Target 재료 증착


▶ 분석 문의 :  mklee@semione21.co.kr

Sputtering System

진공 증착기

▶ 제품 설명


   ◎ 모델명 : SRN-120


   ◎ 제조사 : SORONA


   ◎ 규격 : Wafer Size : Piece ~ 8Inch 

                  Target material : Al, AlSi(1.0, Cu(0.5), AlCu(0.5), Cr, Ni, Au, 

                  Ti, TiN, TiO2, Pt, ITO, IZO, SiO2, Pd, Si, Al2O3


   ◎ 용도 : 고 진공의 플라즈마 환경에서 Target 표면에 

                  고 에너지 입자를 충돌시켜 입자가 튀어 나오게 하여 

                  기판에 Target 재료 증착

▶ 분석 문의 :  mklee@semione21.co.kr


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