▶ 제품 설명
◎ 모델명 : SRN-120
◎ 제조사 : SORONA
◎ 규격 : Wafer Size : Piece ~ 8Inch
Target material : Al, AlSi(1.0, Cu(0.5), AlCu(0.5), Cr, Ni, Au,
Ti, TiN, TiO2, Pt, ITO, IZO, SiO2, Pd, Si, Al2O3
◎ 용도 : 고 진공의 플라즈마 환경에서 Target 표면에
고 에너지 입자를 충돌시켜 입자가 튀어 나오게 하여
기판에 Target 재료 증착
